3D集成手册—— 三维工艺技术(第3卷)pdf,txt,epub,mobi,azw3电子书免费下载
3D集成手册的主要编辑是来自高科技公司和著名研究机构的顶级作者,这本书涵盖了3D工艺技术详细的细节。因此,从技术和材料科学的角度来看,本书主要关注的是硅的形成、键合和解键合、减薄、露头和背面处理等工艺。本书的最后一部分是关于评估和增强3D集成设备的可靠性,这是这种新兴技术大规模实施的先决条件。对材料科学家,半导体物理学家,和那些工作在半导体领域,以及IT和电气工程师有非常阅读价值。
ISBN:9787515921648
作者:(美) 菲利普·加洛 ,(日) 小柳光政, (德) 彼得·拉姆
出版社:中国宇航出版社
出版日期:2024-05-31
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